产品详情
1.产品简介
半导体工艺与器件仿真教学与实验软件包含业界主流微电子工艺及器件仿真TCAD软件的教程和配套资源。通过工艺仿 真得到确定工艺下材料水平的器件结构，然后在工艺仿真得到的器件模型基础上仿真计算电学特性，使学生更加深入地理解半导体工艺和器件原理，熟练掌握Silvaco TCAD软件的使用方法及半导体物理参数、工艺参数及器件模型对于器件电学特性的影响。
实验案例包括硅和锗的导带和价带结构分析等半导体物理实验，离子注入、扩散、淀积、光刻等典型工艺仿真及金属硅 化物、三极管、场效应管等典型器件仿真及工艺器件联合仿真，以支持《半导体物理与器件》、《微电子工艺技术》等课程的课程实验与课程设计。
配套的实验管理软件将各个实验项目的实验资源、实验数据、实验过程进行全流程管理，实现学生实验前通过线上资源 预习实验内容、实验中填写实验数据、实验后一键生成实验报告；教师线上布置实验内容、下载实验报告、实验报告查重、批 阅实验报告、对实验结果进行统计分析等功能。
2.产品特点
3.产品功能
通过本软件的学习和训练，学生可以更加深入地理解半导体工艺和器件原理，熟练掌握TCAD仿真软件的使用方法。
主要实验项目包括：
关键词：ES4502 半导体工艺与器件仿真教学与实验软件
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