ES4517 集成电路制造虚拟仿真软件

所属分类：集成电路

集成电路制造虚拟仿真软件依托真实的14nm、12英寸晶圆工艺制造产线，利用3D虚拟仿真现实技术，按照实际生产要求将集成电路的抽象原理和复杂、昂贵生产设备进行仿真，采用可视化、可交互的方式开发出集成电路制造工艺虚拟仿真实验。

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1.产品介绍

集成电路制造虚拟仿真软件依托真实的14nm、12英寸晶圆工艺制造产线，利用3D虚拟仿真现实技术，按照实际生产要求将集成电路的抽象原理和复杂、昂贵生产设备进行仿真，采用可视化、可交互的方式开发出集成电路制造工艺虚拟仿真实验。将抽象理论教学与实际实训教学相结合，把难于讲解和难于展示的实验原理通过直观方式展示出来，让学生学习到理论知识同时掌握实训操作，达到理论与实际相结合的目的，同时解决实际实验由于设备材料成本限制导致难于实际开展的问题。

提供半导体设备与制造工艺原理、集成电路制造工艺与工程应用两大类实验。经过本平台的训练，学生能以Foundry工艺工程师的身份，熟练完成晶圆制造全部工艺操作流程，掌握每种器件制造所用设备的操作技能。本平台还包括学生用实验指导书、教师用教辅材料、视频、实训考核题等实训资源，帮助老师和学生更好地完成实训。平台能够记录学生的操作，并给学生打分，完成实训过程考核。

2.产品特点